北京理工大学学报
北京理工大學學報
북경리공대학학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2009年
5期
427-430
,共4页
丁英涛%逯海波%仲顺安%谢君堂
丁英濤%逯海波%仲順安%謝君堂
정영도%록해파%중순안%사군당
微电子机械系统%剪应力传感器%灵敏度%热敏元件
微電子機械繫統%剪應力傳感器%靈敏度%熱敏元件
미전자궤계계통%전응력전감기%령민도%열민원건
研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.
研究不同結構、不同熱敏元件溫度和不同工作介質等情況下剪應力傳感器的性能差異.通過實驗和數值模擬相結閤的方法對剪應力傳感器進行瞭熱特性分析.數值模擬結果髮現:採用熱敏元件下部埋置真空空腔的結構,隔熱效果最佳;選擇相對較高的熱敏元件溫度和較高熱物性繫數的工作氣體有助于穫得較高的靈敏度.該結果對優化設計微型剪應力傳感器具有通用的指導意義.
연구불동결구、불동열민원건온도화불동공작개질등정황하전응력전감기적성능차이.통과실험화수치모의상결합적방법대전응력전감기진행료열특성분석.수치모의결과발현:채용열민원건하부매치진공공강적결구,격열효과최가;선택상대교고적열민원건온도화교고열물성계수적공작기체유조우획득교고적령민도.해결과대우화설계미형전응력전감기구유통용적지도의의.
