传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
7期
75-78,81
,共5页
真空蒸发%La掺杂%热氧化%ZnO,SnO2薄膜%气敏特性
真空蒸髮%La摻雜%熱氧化%ZnO,SnO2薄膜%氣敏特性
진공증발%La참잡%열양화%ZnO,SnO2박막%기민특성
真空蒸发沉积薄膜再经热氧化获得n型掺La的ZnO和SnO2薄膜(玻璃衬底)研究掺La含量与热氧化工艺对薄膜的物相结构、表面形貌和气敏特性的影响.实验给出:掺La使薄膜表面颗粒细化,随La含量增加,ZnO,SnO2薄膜平均晶粒尺寸均增大.掺La可明显降低2种薄膜的气敏工作温度相比之下,掺La对ZnO薄膜的灵敏度改善明显优于SnO2.在体积分数为6×10-3的还原性气体丙酮、乙醇中,ZnO:La(3％)薄膜对二者的灵敏度分别达36,23；SnO2∶La(3％)对丙酮灵敏度可达15,掺La(5％)SnO2薄膜对乙醇的灵敏度也有一定的改善.
真空蒸髮沉積薄膜再經熱氧化穫得n型摻La的ZnO和SnO2薄膜(玻璃襯底)研究摻La含量與熱氧化工藝對薄膜的物相結構、錶麵形貌和氣敏特性的影響.實驗給齣:摻La使薄膜錶麵顆粒細化,隨La含量增加,ZnO,SnO2薄膜平均晶粒呎吋均增大.摻La可明顯降低2種薄膜的氣敏工作溫度相比之下,摻La對ZnO薄膜的靈敏度改善明顯優于SnO2.在體積分數為6×10-3的還原性氣體丙酮、乙醇中,ZnO:La(3％)薄膜對二者的靈敏度分彆達36,23；SnO2∶La(3％)對丙酮靈敏度可達15,摻La(5％)SnO2薄膜對乙醇的靈敏度也有一定的改善.
진공증발침적박막재경열양화획득n형참La적ZnO화SnO2박막(파리츤저)연구참La함량여열양화공예대박막적물상결구、표면형모화기민특성적영향.실험급출:참La사박막표면과립세화,수La함량증가,ZnO,SnO2박막평균정립척촌균증대.참La가명현강저2충박막적기민공작온도상비지하,참La대ZnO박막적령민도개선명현우우SnO2.재체적분수위6×10-3적환원성기체병동、을순중,ZnO:La(3％)박막대이자적령민도분별체36,23；SnO2∶La(3％)대병동령민도가체15,참La(5％)SnO2박막대을순적령민도야유일정적개선.
