华南理工大学学报（自然科学版）
華南理工大學學報（自然科學版）
화남리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
11期
109-113,119
,共6页
王敏%郭会勇%黄文波%李文芳%张果戈
王敏%郭會勇%黃文波%李文芳%張果戈
왕민%곽회용%황문파%리문방%장과과
微弧氧化%钛酸钡薄膜%介电性能%表面形貌%表面粗糙度
微弧氧化%鈦痠鋇薄膜%介電性能%錶麵形貌%錶麵粗糙度
미호양화%태산패박막%개전성능%표면형모%표면조조도
通过正交试验优化了微弧氧化制备表面形貌较好、粗糙度较小的BaTiO3薄膜的工艺参数,对最优工艺参数下制备的薄膜进行了表征,并研究了溶液浓度、电流频率、电流密度和反应时间对薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明:在最优工艺条件下(Ba(OH)2溶液浓度0.5mol/L、电流频率100 Hz、电流密度2.0A/cm2、反应时间5 min),所得薄膜主要由四方相BaTiO3组成,其在1 kHz下的介电常数为113.0;随着溶液溶度和电流频率(150 Hz以下)的增加、电流密度的减小、反应时间的缩短,薄膜表面变得平整,粗糙度变小.
通過正交試驗優化瞭微弧氧化製備錶麵形貌較好、粗糙度較小的BaTiO3薄膜的工藝參數,對最優工藝參數下製備的薄膜進行瞭錶徵,併研究瞭溶液濃度、電流頻率、電流密度和反應時間對薄膜錶麵形貌和錶麵粗糙度的影響.結果錶明:在最優工藝條件下(Ba(OH)2溶液濃度0.5mol/L、電流頻率100 Hz、電流密度2.0A/cm2、反應時間5 min),所得薄膜主要由四方相BaTiO3組成,其在1 kHz下的介電常數為113.0;隨著溶液溶度和電流頻率(150 Hz以下)的增加、電流密度的減小、反應時間的縮短,薄膜錶麵變得平整,粗糙度變小.
통과정교시험우화료미호양화제비표면형모교호、조조도교소적BaTiO3박막적공예삼수,대최우공예삼수하제비적박막진행료표정,병연구료용액농도、전류빈솔、전류밀도화반응시간대박막표면형모화표면조조도적영향.결과표명:재최우공예조건하(Ba(OH)2용액농도0.5mol/L、전류빈솔100 Hz、전류밀도2.0A/cm2、반응시간5 min),소득박막주요유사방상BaTiO3조성,기재1 kHz하적개전상수위113.0;수착용액용도화전류빈솔(150 Hz이하)적증가、전류밀도적감소、반응시간적축단,박막표면변득평정,조조도변소.
