CAJ | 학술논문

测头系统作为精密量仪的关键部件,其精度高低直接影响量仪的测试性能,因此一直受到精密测量领域的关注.目前,广泛使用的三叉式触发测头,在结构上存在各向异性、测杆变形等带来的误差问题,制约了精度的提高.为此,提出一种新型的球内反射式光纤测头,充分利用了接触式测量和非接触式测量的优点,采用特殊的光纤球内反射结构,并运用计算机图像技术进行信息处理.通过原理的探索、实验样机的研制以及试验验证,该球内反射式光纤测头原理完全可行,在一维微位移平台上实验得到测头的测量位移量阈值小于0.1 μm,单向重复性精度达到0.0449.μm.
측두계통작위정밀량의적관건부건,기정도고저직접영향량의적측시성능,인차일직수도정밀측량영역적관주.목전,엄범사용적삼차식촉발측두,재결구상존재각향이성、측간변형등대래적오차문제,제약료정도적제고.위차,제출일충신형적구내반사식광섬측두,충분이용료접촉식측량화비접촉식측량적우점,채용특수적광섬구내반사결구,병운용계산궤도상기술진행신식처리.통과원리적탐색、실험양궤적연제이급시험험증,해구내반사식광섬측두원리완전가행,재일유미위이평태상실험득도측두적측량위이량역치소우0.1 μm,단향중복성정도체도0.0449.μm.