河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2007年
1期
42-45
,共4页
离子注入%砷化镓%磁性粒子%原子力显微镜%磁力显微镜%二次离子质谱
離子註入%砷化鎵%磁性粒子%原子力顯微鏡%磁力顯微鏡%二次離子質譜
리자주입%신화가%자성입자%원자력현미경%자력현미경%이차리자질보
通过离子注入在半绝缘GaAs衬底中掺引入Mn杂质,进行不同温度的退火后,在样品中形成了磁性MnAs粒子.利用原子力显微镜和磁力显微镜对样品的表面进行分析,发现退火条件会影响样品磁性粒子的分布.运用二次离子质谱仪测量了样品中Mn的深度分布,发现退火温度对样品中Mn的分布有很大影响.
通過離子註入在半絕緣GaAs襯底中摻引入Mn雜質,進行不同溫度的退火後,在樣品中形成瞭磁性MnAs粒子.利用原子力顯微鏡和磁力顯微鏡對樣品的錶麵進行分析,髮現退火條件會影響樣品磁性粒子的分佈.運用二次離子質譜儀測量瞭樣品中Mn的深度分佈,髮現退火溫度對樣品中Mn的分佈有很大影響.
통과리자주입재반절연GaAs츤저중참인입Mn잡질,진행불동온도적퇴화후,재양품중형성료자성MnAs입자.이용원자력현미경화자력현미경대양품적표면진행분석,발현퇴화조건회영향양품자성입자적분포.운용이차리자질보의측량료양품중Mn적심도분포,발현퇴화온도대양품중Mn적분포유흔대영향.
