无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2007年
2期
359-362
,共4页
朱兴文%李勇强%陆液%李英伟%夏义本
硃興文%李勇彊%陸液%李英偉%夏義本
주흥문%리용강%륙액%리영위%하의본
ZnO薄膜%Li掺杂%[101]取向%PL谱
ZnO薄膜%Li摻雜%[101]取嚮%PL譜
ZnO박막%Li참잡%[101]취향%PL보
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm附近的带边发射(NBE)峰;在560～580℃热处理下,其晶胞变小、光学带隙变窄、360nm左右的带间发光峰红移;当热处理温度升至610℃时,薄膜中再次出现380nm的NBE峰.
採用射頻磁控濺射法在玻璃襯底上製備瞭[101]取嚮的Li:ZnO薄膜,研究瞭該薄膜的光學性能隨熱處理溫度變化的規律.結果錶明,399nm的髮光峰是由Li的雜質能級引起;與[002]取嚮的薄膜相比,未經熱處理的[101]薄膜其光學帶隙大,且齣現瞭380nm附近的帶邊髮射(NBE)峰;在560～580℃熱處理下,其晶胞變小、光學帶隙變窄、360nm左右的帶間髮光峰紅移;噹熱處理溫度升至610℃時,薄膜中再次齣現380nm的NBE峰.
채용사빈자공천사법재파리츤저상제비료[101]취향적Li:ZnO박막,연구료해박막적광학성능수열처리온도변화적규률.결과표명,399nm적발광봉시유Li적잡질능급인기;여[002]취향적박막상비,미경열처리적[101]박막기광학대극대,차출현료380nm부근적대변발사(NBE)봉;재560～580℃열처리하,기정포변소、광학대극변착、360nm좌우적대간발광봉홍이;당열처리온도승지610℃시,박막중재차출현380nm적NBE봉.
