中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2008年
5期
553-557
,共5页
郭锐%肖诗洲%刘剑锋%黄文浩
郭銳%肖詩洲%劉劍鋒%黃文浩
곽예%초시주%류검봉%황문호
双光子激发%三维微细加工%重复率%粗糙度%飞秒激光
雙光子激髮%三維微細加工%重複率%粗糙度%飛秒激光
쌍광자격발%삼유미세가공%중복솔%조조도%비초격광
飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD/CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法,它采用单点扫描累积成型,由点成线,由线成面进行加工.要得到精细的三维微器件,不仅需要高加工分辨率,还须选用合适的扫描步距.我们采用不同重复率工艺参数进行实验,并对得到的表面质量进行了分析,优化了微器件加工的重复率参数.还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理,对重复率影响表面质量进行了仿真.加工系统采用飞秒激光光源:脉宽为80fs,中心波长为800nm,重复频率为80MHz,输出功率为400mW;使用数值孔径(NA=1.25)浸油物镜聚焦;三维扫描使用PZT移动台;材料是新型聚丙烯类S-3负性光刻胶.实验中采用步距0.1,0.2,0.3,0.4 μm得到不同平面,并测得其表面粗糙度,分析了重复率对微器件表面质量的影响.
飛秒激光三維微細加工是一種集超快激光、CAD/CAM、光化學材料等技術于一體的新型加工方法,它採用單點掃描纍積成型,由點成線,由線成麵進行加工.要得到精細的三維微器件,不僅需要高加工分辨率,還鬚選用閤適的掃描步距.我們採用不同重複率工藝參數進行實驗,併對得到的錶麵質量進行瞭分析,優化瞭微器件加工的重複率參數.還基于自由基濃度理論和曝光等效性原理,對重複率影響錶麵質量進行瞭倣真.加工繫統採用飛秒激光光源:脈寬為80fs,中心波長為800nm,重複頻率為80MHz,輸齣功率為400mW;使用數值孔徑(NA=1.25)浸油物鏡聚焦;三維掃描使用PZT移動檯;材料是新型聚丙烯類S-3負性光刻膠.實驗中採用步距0.1,0.2,0.3,0.4 μm得到不同平麵,併測得其錶麵粗糙度,分析瞭重複率對微器件錶麵質量的影響.
비초격광삼유미세가공시일충집초쾌격광、CAD/CAM、광화학재료등기술우일체적신형가공방법,타채용단점소묘루적성형,유점성선,유선성면진행가공.요득도정세적삼유미기건,불부수요고가공분변솔,환수선용합괄적소묘보거.아문채용불동중복솔공예삼수진행실험,병대득도적표면질량진행료분석,우화료미기건가공적중복솔삼수.환기우자유기농도이론화폭광등효성원리,대중복솔영향표면질량진행료방진.가공계통채용비초격광광원:맥관위80fs,중심파장위800nm,중복빈솔위80MHz,수출공솔위400mW;사용수치공경(NA=1.25)침유물경취초;삼유소묘사용PZT이동태;재료시신형취병희류S-3부성광각효.실험중채용보거0.1,0.2,0.3,0.4 μm득도불동평면,병측득기표면조조도,분석료중복솔대미기건표면질량적영향.
