真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
3期
271-274
,共4页
赵华玉%牟宗信%贾莉%张鹏云%郝胜智
趙華玉%牟宗信%賈莉%張鵬雲%郝勝智
조화옥%모종신%가리%장붕운%학성지
磁控溅射%磁场%有限元法
磁控濺射%磁場%有限元法
자공천사%자장%유한원법
精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场.
精確分析磁控靶的磁場對優化磁控靶的設計非常重要.本文採用有限元法分析瞭圓形平麵磁控靶的二維磁場分佈,理論計算的結果與特斯拉計的實驗測量相符,通過對比兩種不同磁極呎吋的磁控靶的磁場,髮現減少磁極的呎吋可以擴展靶錶麵徑嚮磁場區域,磁芯上方加圓錐形極靴可以增彊磁芯上方徑嚮磁場.
정학분석자공파적자장대우화자공파적설계비상중요.본문채용유한원법분석료원형평면자공파적이유자장분포,이론계산적결과여특사랍계적실험측량상부,통과대비량충불동자겁척촌적자공파적자장,발현감소자겁적척촌가이확전파표면경향자장구역,자심상방가원추형겁화가이증강자심상방경향자장.
