真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
1期
33-37
,共5页
仲雪飞%张雄%尹涵春%王保平
仲雪飛%張雄%尹涵春%王保平
중설비%장웅%윤함춘%왕보평
电子技术%场发射显示%模拟计算%结构参数
電子技術%場髮射顯示%模擬計算%結構參數
전자기술%장발사현시%모의계산%결구삼수
Electric technology%Field emission display%Simulation%Structural parameters
前栅极碳纳米管场发射显示板是一种常用的场致发射器件.该器件通过栅极与阴极之间形成的电场产生场致发射电子,在阳极高压的作用下,电子从电场中获得能量,轰击荧光粉产生可见光.本文采用模拟计算的方法研究了标准结构场发射区域内的电场分布、阴极表面的发射情况、电子轨迹和着屏束斑.并研究了关键结构参数在公差范围内变化对阴极发射特性和阳极着屏束斑的影响.计算结果显示,阴极发射状况和阳极束斑对结构参数的变化非常敏感,也证明了前栅极结构对工艺要求十分严格.
前柵極碳納米管場髮射顯示闆是一種常用的場緻髮射器件.該器件通過柵極與陰極之間形成的電場產生場緻髮射電子,在暘極高壓的作用下,電子從電場中穫得能量,轟擊熒光粉產生可見光.本文採用模擬計算的方法研究瞭標準結構場髮射區域內的電場分佈、陰極錶麵的髮射情況、電子軌跡和著屏束斑.併研究瞭關鍵結構參數在公差範圍內變化對陰極髮射特性和暘極著屏束斑的影響.計算結果顯示,陰極髮射狀況和暘極束斑對結構參數的變化非常敏感,也證明瞭前柵極結構對工藝要求十分嚴格.
전책겁탄납미관장발사현시판시일충상용적장치발사기건.해기건통과책겁여음겁지간형성적전장산생장치발사전자,재양겁고압적작용하,전자종전장중획득능량,굉격형광분산생가견광.본문채용모의계산적방법연구료표준결구장발사구역내적전장분포、음겁표면적발사정황、전자궤적화착병속반.병연구료관건결구삼수재공차범위내변화대음겁발사특성화양겁착병속반적영향.계산결과현시,음겁발사상황화양겁속반대결구삼수적변화비상민감,야증명료전책겁결구대공예요구십분엄격.
The major variables,including the field distributions,field emission of the cathodes,electron trajectories and spots on the anode in the typical structure of the normal-gate carbon nanotube field emission display panel (CNT FED),were simulated.The impacts of the key factors,including the gate voltage,dielectric layer thickness,and structural variations within the tolerance,on the field emission characteristics and on the anode spot geometry were studied.The simulated results show that the structural configurations,such as the dielectric layer thickness,the gate opening and gate-alignment errors,strongly affect the field emission characteristics and the spot geometry on the anode.