材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
20期
149-152
,共4页
刘学杰%任元%孙士阳%谭心%贾慧灵
劉學傑%任元%孫士暘%譚心%賈慧靈
류학걸%임원%손사양%담심%가혜령
复合材料%有效作用势%Ti-Si-N薄膜%势能面%拟合
複閤材料%有效作用勢%Ti-Si-N薄膜%勢能麵%擬閤
복합재료%유효작용세%Ti-Si-N박막%세능면%의합
为了准确地实现Ti-Si-N纳米复合薄膜生长过程动力学蒙特卡罗(KMC)仿真,采用简单原子之间的有效势拟合了第一性原理计算单粒子在TiN(001)表面的吸附作用和迁移行为.通过计算分别获得Ti、Si、N单粒子沉积在TiN(001)表面有效势的计算参数a、r0和u0.Ti、Si、N单粒子在TiN(001)表面吸附能和迁移激活能拟合相对误差均小于5％,Ti、Si、N单粒子在TiN(001)表面绕2N2Ti岛迁移激活能相对误差小于10％.对势Morse势可以描述简单键性的作用力,对于较复杂的键性其计算原子之间相互作用的准确度降低.
為瞭準確地實現Ti-Si-N納米複閤薄膜生長過程動力學矇特卡囉(KMC)倣真,採用簡單原子之間的有效勢擬閤瞭第一性原理計算單粒子在TiN(001)錶麵的吸附作用和遷移行為.通過計算分彆穫得Ti、Si、N單粒子沉積在TiN(001)錶麵有效勢的計算參數a、r0和u0.Ti、Si、N單粒子在TiN(001)錶麵吸附能和遷移激活能擬閤相對誤差均小于5％,Ti、Si、N單粒子在TiN(001)錶麵繞2N2Ti島遷移激活能相對誤差小于10％.對勢Morse勢可以描述簡單鍵性的作用力,對于較複雜的鍵性其計算原子之間相互作用的準確度降低.
위료준학지실현Ti-Si-N납미복합박막생장과정동역학몽특잡라(KMC)방진,채용간단원자지간적유효세의합료제일성원리계산단입자재TiN(001)표면적흡부작용화천이행위.통과계산분별획득Ti、Si、N단입자침적재TiN(001)표면유효세적계산삼수a、r0화u0.Ti、Si、N단입자재TiN(001)표면흡부능화천이격활능의합상대오차균소우5％,Ti、Si、N단입자재TiN(001)표면요2N2Ti도천이격활능상대오차소우10％.대세Morse세가이묘술간단건성적작용력,대우교복잡적건성기계산원자지간상호작용적준학도강저.
