工业仪表与自动化装置
工業儀錶與自動化裝置
공업의표여자동화장치
INDUSTRIAL INSTRUMENTATION & AUTOMATION
2011年
5期
27-29,45
,共4页
缪琴%徐林森%方世辉%赵江海%沈惠平
繆琴%徐林森%方世輝%趙江海%瀋惠平
무금%서림삼%방세휘%조강해%침혜평
表面贴装%视觉检测%偏角检测%直线拟合
錶麵貼裝%視覺檢測%偏角檢測%直線擬閤
표면첩장%시각검측%편각검측%직선의합
视觉检测是半导体贴装设备的核心技术之一,该文重点阐述了视觉检测系统的总体设计,并提出一种检测晶圆偏转角度的有效算法.利用这些图像处理技术对芯片边缘点进行采集,并拟合成直线,从而计算出晶圆的偏转角度.实验结果表明,该系统具有较高的准确度,并且满足系统的实时性要求.
視覺檢測是半導體貼裝設備的覈心技術之一,該文重點闡述瞭視覺檢測繫統的總體設計,併提齣一種檢測晶圓偏轉角度的有效算法.利用這些圖像處理技術對芯片邊緣點進行採集,併擬閤成直線,從而計算齣晶圓的偏轉角度.實驗結果錶明,該繫統具有較高的準確度,併且滿足繫統的實時性要求.
시각검측시반도체첩장설비적핵심기술지일,해문중점천술료시각검측계통적총체설계,병제출일충검측정원편전각도적유효산법.이용저사도상처리기술대심편변연점진행채집,병의합성직선,종이계산출정원적편전각도.실험결과표명,해계통구유교고적준학도,병차만족계통적실시성요구.
