光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
8期
44-47
,共4页
王广丰%许洪强%潘宏歌%钟海娜
王廣豐%許洪彊%潘宏歌%鐘海娜
왕엄봉%허홍강%반굉가%종해나
单缝衍射%CCD%信号处理%中心距测量
單縫衍射%CCD%信號處理%中心距測量
단봉연사%CCD%신호처리%중심거측량
由于较高次衍射条纹的光强很微弱,以及激光的漫反射和CCD器件本身存在的暗电流噪声等原因,使得暗条纹中心距难以精确测量,这是单缝衍射法测量几何量中影响测量精度的主要原因.为此,提出了分步滤波法和暗条纹中心判定条件.对衍射条纹原始采集数据先进行过滤波,再进行欠滤波,尽量消除干扰信号的影响,获得有用信号;利用最小二乘法对衍射条纹曲线进行拟合,并利用二分搜索法对拟合曲线的波谷进行精确定位,就可较精确地得到暗条纹的中心位置.实验表明,暗条纹中心距的测量精度达到优于5μm的水平.
由于較高次衍射條紋的光彊很微弱,以及激光的漫反射和CCD器件本身存在的暗電流譟聲等原因,使得暗條紋中心距難以精確測量,這是單縫衍射法測量幾何量中影響測量精度的主要原因.為此,提齣瞭分步濾波法和暗條紋中心判定條件.對衍射條紋原始採集數據先進行過濾波,再進行欠濾波,儘量消除榦擾信號的影響,穫得有用信號;利用最小二乘法對衍射條紋麯線進行擬閤,併利用二分搜索法對擬閤麯線的波穀進行精確定位,就可較精確地得到暗條紋的中心位置.實驗錶明,暗條紋中心距的測量精度達到優于5μm的水平.
유우교고차연사조문적광강흔미약,이급격광적만반사화CCD기건본신존재적암전류조성등원인,사득암조문중심거난이정학측량,저시단봉연사법측량궤하량중영향측량정도적주요원인.위차,제출료분보려파법화암조문중심판정조건.대연사조문원시채집수거선진행과려파,재진행흠려파,진량소제간우신호적영향,획득유용신호;이용최소이승법대연사조문곡선진행의합,병이용이분수색법대의합곡선적파곡진행정학정위,취가교정학지득도암조문적중심위치.실험표명,암조문중심거적측량정도체도우우5μm적수평.
