功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
z1期
28-30,35
,共4页
吴雪梅%诸葛兰剑%柳襄怀
吳雪梅%諸葛蘭劍%柳襄懷
오설매%제갈란검%류양부
栅发射%C薄膜%Hf薄膜%BaO
柵髮射%C薄膜%Hf薄膜%BaO
책발사%C박막%Hf박막%BaO
利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上分别制备了C膜和Hf膜,并利用化学方法制备了BaO涂层以模拟行波管栅极结构,随后在N2保护下,通过在900～1300K范围内退火,研究样品处于高温工作环境下表面相结构和成分的变化,以此解释了C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的工作机理.
利用雙離子束濺射和射頻磁控濺射技術在Mo基底上分彆製備瞭C膜和Hf膜,併利用化學方法製備瞭BaO塗層以模擬行波管柵極結構,隨後在N2保護下,通過在900～1300K範圍內退火,研究樣品處于高溫工作環境下錶麵相結構和成分的變化,以此解釋瞭C、Hf薄膜抑製柵極電子髮射的工作機理.
이용쌍리자속천사화사빈자공천사기술재Mo기저상분별제비료C막화Hf막,병이용화학방법제비료BaO도층이모의행파관책겁결구,수후재N2보호하,통과재900～1300K범위내퇴화,연구양품처우고온공작배경하표면상결구화성분적변화,이차해석료C、Hf박막억제책겁전자발사적공작궤리.
