半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
11期
1961-1965
,共5页
张皓%吕志超%田立林%谭志敏%刘理天%李志坚
張皓%呂誌超%田立林%譚誌敏%劉理天%李誌堅
장호%려지초%전립림%담지민%류리천%리지견
超薄单晶硅薄膜%热导率%稳态加热法
超薄單晶硅薄膜%熱導率%穩態加熱法
초박단정규박막%열도솔%은태가열법
改进了传统稳态加热法的测试结构,设计了带隔离槽的全对称悬空薄膜测试结构,并使用有限元工具对测试结构进行了优化.测量了室温下50和80nm厚度的单晶硅薄膜的横向热导率,分别为32和38W/(m·K),其相对体硅热导率(148W/(m·K))有明显下降,实验结果与BTE(Boltzmann transport equation)的理论预测曲线吻合得很好.
改進瞭傳統穩態加熱法的測試結構,設計瞭帶隔離槽的全對稱懸空薄膜測試結構,併使用有限元工具對測試結構進行瞭優化.測量瞭室溫下50和80nm厚度的單晶硅薄膜的橫嚮熱導率,分彆為32和38W/(m·K),其相對體硅熱導率(148W/(m·K))有明顯下降,實驗結果與BTE(Boltzmann transport equation)的理論預測麯線吻閤得很好.
개진료전통은태가열법적측시결구,설계료대격리조적전대칭현공박막측시결구,병사용유한원공구대측시결구진행료우화.측량료실온하50화80nm후도적단정규박막적횡향열도솔,분별위32화38W/(m·K),기상대체규열도솔(148W/(m·K))유명현하강,실험결과여BTE(Boltzmann transport equation)적이론예측곡선문합득흔호.
