南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
6期
545-548
,共4页
蒋雅雅%赖珍荃%王震东%黄奇辉
蔣雅雅%賴珍荃%王震東%黃奇輝
장아아%뢰진전%왕진동%황기휘
磁控溅射%TiN薄膜%基底温度
磁控濺射%TiN薄膜%基底溫度
자공천사%TiN박막%기저온도
在不同的基底温度下,采用直流磁控反应溅射法在硅基底上制备了氮化钛(TiNx)薄膜,研究了基底温度对薄膜结晶取向、表面形貌和导电性能的影响.实验结果表明:基底温度较低时,薄膜主要成分为四方相的Ti2N,具有(110)择优取向,当基底温度升高到360℃时薄膜中开始出现立方相的TiN.TiNx薄膜致密均匀,粗糙度小.随着基底温度的升高薄膜的电阻率显著减小.
在不同的基底溫度下,採用直流磁控反應濺射法在硅基底上製備瞭氮化鈦(TiNx)薄膜,研究瞭基底溫度對薄膜結晶取嚮、錶麵形貌和導電性能的影響.實驗結果錶明:基底溫度較低時,薄膜主要成分為四方相的Ti2N,具有(110)擇優取嚮,噹基底溫度升高到360℃時薄膜中開始齣現立方相的TiN.TiNx薄膜緻密均勻,粗糙度小.隨著基底溫度的升高薄膜的電阻率顯著減小.
재불동적기저온도하,채용직류자공반응천사법재규기저상제비료담화태(TiNx)박막,연구료기저온도대박막결정취향、표면형모화도전성능적영향.실험결과표명:기저온도교저시,박막주요성분위사방상적Ti2N,구유(110)택우취향,당기저온도승고도360℃시박막중개시출현립방상적TiN.TiNx박막치밀균균,조조도소.수착기저온도적승고박막적전조솔현저감소.
