基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
기우수력분석적MEMS박막계통급모의방법적연구
The Method of System-Level Simulation for a MEMS Membrane Based on the Force Analysis Research
  • 万方数据
    传感技术学报 전감기술학보
    Journal of Transduction Technology
    2008年 4期 607-610 ,共4页

    李蓓佳%李伟华

    리배가%리위화

    MEMS设计%系统级模拟%薄膜%受力分析%等效电路宏模型 MEMS設計%繫統級模擬%薄膜%受力分析%等效電路宏模型
    MEMS설계%계통급모의%박막%수력분석%등효전로굉모형
    介绍一种MEMS系统级模拟方法.该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型.利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性.
    개소일충MEMS계통급모의방법.해방법직접분석운동물체적수력정황,병결합능량원리,이용수공원적반궤실현우합작용,건립궤전우합MEMS박막적등효전로모형.이용해등효전로실현대박막동태행위적계통급모의,병장Spice화유한원법,Saber적모의결과진행대비,험증료해모의방법응용우이유정황분석적유효성.
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