微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
6期
18-20
,共3页
徐启远%刘正堂%李阳平%闫峰
徐啟遠%劉正堂%李暘平%閆峰
서계원%류정당%리양평%염봉
亚波长结构%增透%周期%占空比%高度
亞波長結構%增透%週期%佔空比%高度
아파장결구%증투%주기%점공비%고도
利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数.结果表明,当二维亚波长结构的等效折射率等于增透镀层材料的折射率、刻蚀高度等于单层理想增透膜的厚度时,这种结构具有良好的增透效果.采用蓝宝石双面设计二维亚波长结构后,在3μm-5μm波段的平均透过率可达99.25%.
利用等效介質理論、薄膜理論研究瞭二維亞波長結構的增透設計,以藍寶石襯底為例,研究瞭二維亞波長結構的增透設計,分析瞭該結構的週期、佔空比、高度等參數對增透率的影響,通過分析找到瞭閤適的結構參數.結果錶明,噹二維亞波長結構的等效摺射率等于增透鍍層材料的摺射率、刻蝕高度等于單層理想增透膜的厚度時,這種結構具有良好的增透效果.採用藍寶石雙麵設計二維亞波長結構後,在3μm-5μm波段的平均透過率可達99.25%.
이용등효개질이론、박막이론연구료이유아파장결구적증투설계,이람보석츤저위례,연구료이유아파장결구적증투설계,분석료해결구적주기、점공비、고도등삼수대증투솔적영향,통과분석조도료합괄적결구삼수.결과표명,당이유아파장결구적등효절사솔등우증투도층재료적절사솔、각식고도등우단층이상증투막적후도시,저충결구구유량호적증투효과.채용람보석쌍면설계이유아파장결구후,재3μm-5μm파단적평균투과솔가체99.25%.
