电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
4期
1097-1100
,共4页
董建康%祁康成%李新义%高峰
董建康%祁康成%李新義%高峰
동건강%기강성%리신의%고봉
场发射阵列阴极%钼尖锥%六硼化镧%硅阵列
場髮射陣列陰極%鉬尖錐%六硼化鑭%硅陣列
장발사진렬음겁%목첨추%륙붕화란%규진렬
在修改常规Spindt型阴极制备工艺的基础上制作出低电压驱动且具有亚微米栅极孔径的场发射阵列,采用硅的局部氧化工艺制备栅极绝缘层,利用硅的侧向氧化使栅极孔径降低到亚微米量级,腐蚀出微腔阵列,通过固定角度蒸发铝制作牺牲层,再利用电子束蒸发钼,在微腔里沉积钼尖锥,去除牺牲层,成功制备出钼尖锥场发射阵列.为了改善场发射性能,制作出了六硼化镧尖锥阵列.分别对钼尖锥阴极阵列和六硼化镧尖锥阴极阵列的场发射特性进行了测试.本文研究对场发射阵列在实际中应用有着重要的意义.
在脩改常規Spindt型陰極製備工藝的基礎上製作齣低電壓驅動且具有亞微米柵極孔徑的場髮射陣列,採用硅的跼部氧化工藝製備柵極絕緣層,利用硅的側嚮氧化使柵極孔徑降低到亞微米量級,腐蝕齣微腔陣列,通過固定角度蒸髮鋁製作犧牲層,再利用電子束蒸髮鉬,在微腔裏沉積鉬尖錐,去除犧牲層,成功製備齣鉬尖錐場髮射陣列.為瞭改善場髮射性能,製作齣瞭六硼化鑭尖錐陣列.分彆對鉬尖錐陰極陣列和六硼化鑭尖錐陰極陣列的場髮射特性進行瞭測試.本文研究對場髮射陣列在實際中應用有著重要的意義.
재수개상규Spindt형음겁제비공예적기출상제작출저전압구동차구유아미미책겁공경적장발사진렬,채용규적국부양화공예제비책겁절연층,이용규적측향양화사책겁공경강저도아미미량급,부식출미강진렬,통과고정각도증발려제작희생층,재이용전자속증발목,재미강리침적목첨추,거제희생층,성공제비출목첨추장발사진렬.위료개선장발사성능,제작출료륙붕화란첨추진렬.분별대목첨추음겁진렬화륙붕화란첨추음겁진렬적장발사특성진행료측시.본문연구대장발사진렬재실제중응용유착중요적의의.
