机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2008年
4期
586-589
,共4页
杨卓青%丁桂甫%蔡豪刚%付世%赵小林
楊卓青%丁桂甫%蔡豪剛%付世%趙小林
양탁청%정계보%채호강%부세%조소림
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)惯性开关%有限元%动力学%弹性系数
微機電繫統(micro-electro-mechanical system,MEMS)慣性開關%有限元%動力學%彈性繫數
미궤전계통(micro-electro-mechanical system,MEMS)관성개관%유한원%동역학%탄성계수
设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS( micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数( klevel和kvertic)的影响规律.文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径,具有工程实际应用价值,特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据.
設計水平和垂直方嚮兩種驅動形式MEMS( micro-electro-mechanical system)慣性開關,應用ANSYS10.0有限元軟件對其中的鎳質微彈簧結構進行實體建模和動力學模擬分析,得到其在動載荷下的應力分佈情況和耑部位移響應麯線,併比較靜動載荷下結構參數對微彈簧水平和垂直方嚮上彈性常數( klevel和kvertic)的影響規律.文中的有限元動力學分析方法為較準確地評定類似MEMS微彈簧彈性常數提供一條有效途徑,具有工程實際應用價值,特彆是為動載荷下工作的慣性類微器件中彈簧的進一步優化與加工提供重要依據.
설계수평화수직방향량충구동형식MEMS( micro-electro-mechanical system)관성개관,응용ANSYS10.0유한원연건대기중적얼질미탄황결구진행실체건모화동역학모의분석,득도기재동재하하적응력분포정황화단부위이향응곡선,병비교정동재하하결구삼수대미탄황수평화수직방향상탄성상수( klevel화kvertic)적영향규률.문중적유한원동역학분석방법위교준학지평정유사MEMS미탄황탄성상수제공일조유효도경,구유공정실제응용개치,특별시위동재하하공작적관성류미기건중탄황적진일보우화여가공제공중요의거.
