红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2009年
1期
120-125
,共6页
王华清%薛唯%卢维强%李夏%张楠
王華清%薛唯%盧維彊%李夏%張楠
왕화청%설유%로유강%리하%장남
薄膜应力%在线测量%哈特曼传感器
薄膜應力%在線測量%哈特曼傳感器
박막응력%재선측량%합특만전감기
介绍了一种基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统.哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域,通过测量每个小区域成像光斑的相对位置变化来获得整个测量表面的变形量,将测得的变形量代入到薄膜应力与基板表面变形的关系式中,求得薄膜应力.通过对影响光斑质心探测精度的各种因素进行分析,提出使用加阈值的一阶矩法,精确计算光斑质心,结合高灵敏度的CMOS探测器,使系统的面形测量精度达到15.7 nm,应力测量灵敏度优于3.3 MPa,实现了薄膜应力测量的高灵敏度与在线测量的统一.最后通过对TiO2,SiO2单层膜的在线测量,验证了系统的灵敏度与稳定性,能够完全满足薄膜应力分析的需要.
介紹瞭一種基于哈特曼傳感器的薄膜應力在線檢測繫統.哈特曼透鏡陣列將待測量錶麵劃分成若榦小區域,通過測量每箇小區域成像光斑的相對位置變化來穫得整箇測量錶麵的變形量,將測得的變形量代入到薄膜應力與基闆錶麵變形的關繫式中,求得薄膜應力.通過對影響光斑質心探測精度的各種因素進行分析,提齣使用加閾值的一階矩法,精確計算光斑質心,結閤高靈敏度的CMOS探測器,使繫統的麵形測量精度達到15.7 nm,應力測量靈敏度優于3.3 MPa,實現瞭薄膜應力測量的高靈敏度與在線測量的統一.最後通過對TiO2,SiO2單層膜的在線測量,驗證瞭繫統的靈敏度與穩定性,能夠完全滿足薄膜應力分析的需要.
개소료일충기우합특만전감기적박막응력재선검측계통.합특만투경진렬장대측량표면화분성약간소구역,통과측량매개소구역성상광반적상대위치변화래획득정개측량표면적변형량,장측득적변형량대입도박막응력여기판표면변형적관계식중,구득박막응력.통과대영향광반질심탐측정도적각충인소진행분석,제출사용가역치적일계구법,정학계산광반질심,결합고령민도적CMOS탐측기,사계통적면형측량정도체도15.7 nm,응력측량령민도우우3.3 MPa,실현료박막응력측량적고령민도여재선측량적통일.최후통과대TiO2,SiO2단층막적재선측량,험증료계통적령민도여은정성,능구완전만족박막응력분석적수요.
