稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
5期
802-806
,共5页
王舒舒%吴湘君%光寒冰%周淑%张文艳%章非敏
王舒舒%吳湘君%光寒冰%週淑%張文豔%章非敏
왕서서%오상군%광한빙%주숙%장문염%장비민
氮化锆(ZrN)%磁控溅射%氮分压%钛瓷%结合强度
氮化鋯(ZrN)%磁控濺射%氮分壓%鈦瓷%結閤彊度
담화고(ZrN)%자공천사%담분압%태자%결합강도
探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆(ZrN)涂层对纯钛与低熔瓷粉(Vita钛瓷粉系统)结合强度的影响.60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组.实验组分别在不同氮分压下(Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa)溅射沉积ZrN涂层.纯钛试样经表面处理后在烤瓷炉中进行烧结.用XRD检测到ZrN立方新相.万能试验机测试钛瓷试样三点抗弯强度,对照组为(26.67±0.88)Mpa,实验组分别为:Ta(49.41±0.55)Mpa,Tb(54.55±0.69)Mpa和Tc(46.24±0.53)Mpa,四组间差别均有统计学意义(P<0.05).SEM观察表明,实验组钛/瓷结合良好,钛基底残留的瓷断面数量较多,面积较大.不同氮分压下溅射沉积的ZrN涂层对钛/瓷结合的增强程度有所不同,5.0×10-2Pa下钛/瓷结合增强最为明显.
探討不同氮分壓下磁控濺射氮化鋯(ZrN)塗層對純鈦與低鎔瓷粉(Vita鈦瓷粉繫統)結閤彊度的影響.60箇純鈦基片隨機分為1箇對照組和3箇實驗組.實驗組分彆在不同氮分壓下(Ta組1.0×10-2Pa,Tb組5.0×10-2Pa和Tc組10.0×10-2Pa)濺射沉積ZrN塗層.純鈦試樣經錶麵處理後在烤瓷爐中進行燒結.用XRD檢測到ZrN立方新相.萬能試驗機測試鈦瓷試樣三點抗彎彊度,對照組為(26.67±0.88)Mpa,實驗組分彆為:Ta(49.41±0.55)Mpa,Tb(54.55±0.69)Mpa和Tc(46.24±0.53)Mpa,四組間差彆均有統計學意義(P<0.05).SEM觀察錶明,實驗組鈦/瓷結閤良好,鈦基底殘留的瓷斷麵數量較多,麵積較大.不同氮分壓下濺射沉積的ZrN塗層對鈦/瓷結閤的增彊程度有所不同,5.0×10-2Pa下鈦/瓷結閤增彊最為明顯.
탐토불동담분압하자공천사담화고(ZrN)도층대순태여저용자분(Vita태자분계통)결합강도적영향.60개순태기편수궤분위1개대조조화3개실험조.실험조분별재불동담분압하(Ta조1.0×10-2Pa,Tb조5.0×10-2Pa화Tc조10.0×10-2Pa)천사침적ZrN도층.순태시양경표면처리후재고자로중진행소결.용XRD검측도ZrN립방신상.만능시험궤측시태자시양삼점항만강도,대조조위(26.67±0.88)Mpa,실험조분별위:Ta(49.41±0.55)Mpa,Tb(54.55±0.69)Mpa화Tc(46.24±0.53)Mpa,사조간차별균유통계학의의(P<0.05).SEM관찰표명,실험조태/자결합량호,태기저잔류적자단면수량교다,면적교대.불동담분압하천사침적적ZrN도층대태/자결합적증강정도유소불동,5.0×10-2Pa하태/자결합증강최위명현.
