计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2004年
1期
1-5
,共5页
林德教%柳忠尧%徐毅%殷纯永
林德教%柳忠堯%徐毅%慇純永
림덕교%류충요%서의%은순영
计量学%微电子掩模板%共焦显微术%外差测相%轴向响应
計量學%微電子掩模闆%共焦顯微術%外差測相%軸嚮響應
계량학%미전자엄모판%공초현미술%외차측상%축향향응
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5 μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM.实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向响应曲线,证实了纯共焦方法在轴向分辨率提高方面的局限性,但其光强变化足以区分干涉条纹的级次.将该系统应用于微电子掩模板台阶高度标准的测量,实验表明DICM的测量值与国际比对结果相符合,系统具有良好的复现性,极限偏差小于5 nm.
提齣一種外差榦涉與共焦顯微技術融閤用于微電子掩膜闆檯階高度測量的方法,同時實現瞭高分辨率(亞納米)與較大量程(5 μm以上)測量,構成瞭雙頻榦涉共焦顯微繫統DICM.實驗比較瞭3組物鏡數值孔徑NA、放大倍數β條件下的共焦顯微繫統軸嚮響應麯線,證實瞭純共焦方法在軸嚮分辨率提高方麵的跼限性,但其光彊變化足以區分榦涉條紋的級次.將該繫統應用于微電子掩模闆檯階高度標準的測量,實驗錶明DICM的測量值與國際比對結果相符閤,繫統具有良好的複現性,極限偏差小于5 nm.
제출일충외차간섭여공초현미기술융합용우미전자엄막판태계고도측량적방법,동시실현료고분변솔(아납미)여교대량정(5 μm이상)측량,구성료쌍빈간섭공초현미계통DICM.실험비교료3조물경수치공경NA、방대배수β조건하적공초현미계통축향향응곡선,증실료순공초방법재축향분변솔제고방면적국한성,단기광강변화족이구분간섭조문적급차.장해계통응용우미전자엄모판태계고도표준적측량,실험표명DICM적측량치여국제비대결과상부합,계통구유량호적복현성,겁한편차소우5 nm.
