莱阳农学院学报
萊暘農學院學報
래양농학원학보
JOURNAL OF LAIYANG AGRICULTURAL COLLEGE
2004年
3期
245-248
,共4页
黄树来%姜永超%盖凌云%孙玉林%徐进栋
黃樹來%薑永超%蓋凌雲%孫玉林%徐進棟
황수래%강영초%개릉운%손옥림%서진동
有机衬底%Zn-Sn-O透明导电膜%射频磁控溅射%PACC%6855%8115C%7360
有機襯底%Zn-Sn-O透明導電膜%射頻磁控濺射%PACC%6855%8115C%7360
유궤츤저%Zn-Sn-O투명도전막%사빈자공천사%PACC%6855%8115C%7360
采用射频磁控溅射技术首次在有机薄膜衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的Zn-Sn-O透明导电膜.研究了有机衬底和玻璃衬底Zn-Sn-O薄膜的结构、表面形貌和组分.制备薄膜为非晶结构,有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的最低电阻率和可见光平均透过率分别为1.3×10-2Ω·cm和82%.薄膜中的氧偏离理想化学配比,存在着较多的氧空位,氧空位是薄膜中载流子的主要来源.
採用射頻磁控濺射技術首次在有機薄膜襯底上低溫製備齣具有低電阻率和良好附著性的Zn-Sn-O透明導電膜.研究瞭有機襯底和玻璃襯底Zn-Sn-O薄膜的結構、錶麵形貌和組分.製備薄膜為非晶結構,有機襯底Zn-Sn-O透明導電膜的最低電阻率和可見光平均透過率分彆為1.3×10-2Ω·cm和82%.薄膜中的氧偏離理想化學配比,存在著較多的氧空位,氧空位是薄膜中載流子的主要來源.
채용사빈자공천사기술수차재유궤박막츤저상저온제비출구유저전조솔화량호부착성적Zn-Sn-O투명도전막.연구료유궤츤저화파리츤저Zn-Sn-O박막적결구、표면형모화조분.제비박막위비정결구,유궤츤저Zn-Sn-O투명도전막적최저전조솔화가견광평균투과솔분별위1.3×10-2Ω·cm화82%.박막중적양편리이상화학배비,존재착교다적양공위,양공위시박막중재류자적주요래원.
