摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2004年
4期
304-307
,共4页
鲍海飞%熊斌%陆德仁%李昕欣%王跃林
鮑海飛%熊斌%陸德仁%李昕訢%王躍林
포해비%웅빈%륙덕인%리흔흔%왕약림
碳氟聚合物%薄膜%纳米摩擦特性%微机电系统
碳氟聚閤物%薄膜%納米摩抆特性%微機電繫統
탄불취합물%박막%납미마찰특성%미궤전계통
利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.
利用原子力顯微鏡研究瞭感應等離子體刻蝕加工過程中單晶硅錶麵形成的不同厚度的碳氟聚閤物薄膜的納米摩抆特性,併針對幾種不同的摩抆模式探討瞭原子力顯微鏡探針在不同厚度的碳氟聚閤物薄膜錶麵的摩抆行為.結果錶明,同硅基體相比,聚閤物薄膜的摩抆力信號明顯較弱,薄膜的納米摩抆特性同其厚度密切相關;碳氟聚閤物薄膜在同Si3N4針尖接觸過程中可嚮針尖錶麵轉移,從而對針尖起脩飾作用,以減輕微觀摩抆磨損.
이용원자력현미경연구료감응등리자체각식가공과정중단정규표면형성적불동후도적탄불취합물박막적납미마찰특성,병침대궤충불동적마찰모식탐토료원자력현미경탐침재불동후도적탄불취합물박막표면적마찰행위.결과표명,동규기체상비,취합물박막적마찰력신호명현교약,박막적납미마찰특성동기후도밀절상관;탄불취합물박막재동Si3N4침첨접촉과정중가향침첨표면전이,종이대침첨기수식작용,이감경미관마찰마손.
