传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
12期
114-116
,共3页
SnO2纳米颗粒%气体传感器%滴液沉积法%CO2气体%敏感性
SnO2納米顆粒%氣體傳感器%滴液沉積法%CO2氣體%敏感性
SnO2납미과립%기체전감기%적액침적법%CO2기체%민감성
将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒.然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性.结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳,尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺.
將有機金屬先驅體[Sn(N(CH3)2)2]2在適噹的條件下熱解,製備瞭呎吋分佈集中的SnO2納米顆粒.然後,在氣體傳感器的多晶硅層上原位沉積納米顆粒懸浮液得到納米顆粒多孔薄膜傳感層,併探索瞭SnO2納米顆粒傳感器原位摻雜Mg,K,Ba元素,檢測氣體傳感器在不同CO2體積分數下的敏感性.結果錶明:此方法製得的傳感器對CO2氣體敏感性不佳,尚需進一步研究摻雜元素和摻雜工藝.
장유궤금속선구체[Sn(N(CH3)2)2]2재괄당적조건하열해,제비료척촌분포집중적SnO2납미과립.연후,재기체전감기적다정규층상원위침적납미과립현부액득도납미과립다공박막전감층,병탐색료SnO2납미과립전감기원위참잡Mg,K,Ba원소,검측기체전감기재불동CO2체적분수하적민감성.결과표명:차방법제득적전감기대CO2기체민감성불가,상수진일보연구참잡원소화참잡공예.
