物理化学学报
物理化學學報
물이화학학보
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA
2009年
6期
1213-1218
,共6页
陈长风%姜瑞景%钱进森%郑树启
陳長風%薑瑞景%錢進森%鄭樹啟
진장풍%강서경%전진삼%정수계
双极性%钝化膜%Mott-Schottky曲线%非线性拟合
雙極性%鈍化膜%Mott-Schottky麯線%非線性擬閤
쌍겁성%둔화막%Mott-Schottky곡선%비선성의합
将双极性半导体钝化膜空间电荷电容等效为钝化膜,溶液界面处电容和内层钝化膜/外层钝化膜界面处的np结电容的串联,根据前期研究建立的半导体富集态、耗尽态以及反型态空间电荷电容的统一计算公式,给出了双极性钝化膜Mott-SchoRky(M-S)曲线的非线性拟合方法.并将这一方法应用于镍基合金G3高温高压H2S/CO2腐蚀后的钝化膜半导体特征研究.M-S曲线非线性拟合结果显示,温度升高外层P型半导体钝化膜多数载流子浓度明显增高,而内层n型半导体钝化膜的多数载流子浓度基本未变.通过非线性拟合,证明本文所给出的M-S曲线非线性拟合方法能够同时给出钝化膜内外层多个半导体性质参数,为揭示钝化膜形成及破坏机制提供更多信息.结合X射线光电子能谱(XPS)分析,讨论了钝化膜结构变化机制及np结在抑制腐蚀过程中的作用.
將雙極性半導體鈍化膜空間電荷電容等效為鈍化膜,溶液界麵處電容和內層鈍化膜/外層鈍化膜界麵處的np結電容的串聯,根據前期研究建立的半導體富集態、耗儘態以及反型態空間電荷電容的統一計算公式,給齣瞭雙極性鈍化膜Mott-SchoRky(M-S)麯線的非線性擬閤方法.併將這一方法應用于鎳基閤金G3高溫高壓H2S/CO2腐蝕後的鈍化膜半導體特徵研究.M-S麯線非線性擬閤結果顯示,溫度升高外層P型半導體鈍化膜多數載流子濃度明顯增高,而內層n型半導體鈍化膜的多數載流子濃度基本未變.通過非線性擬閤,證明本文所給齣的M-S麯線非線性擬閤方法能夠同時給齣鈍化膜內外層多箇半導體性質參數,為揭示鈍化膜形成及破壞機製提供更多信息.結閤X射線光電子能譜(XPS)分析,討論瞭鈍化膜結構變化機製及np結在抑製腐蝕過程中的作用.
장쌍겁성반도체둔화막공간전하전용등효위둔화막,용액계면처전용화내층둔화막/외층둔화막계면처적np결전용적천련,근거전기연구건립적반도체부집태、모진태이급반형태공간전하전용적통일계산공식,급출료쌍겁성둔화막Mott-SchoRky(M-S)곡선적비선성의합방법.병장저일방법응용우얼기합금G3고온고압H2S/CO2부식후적둔화막반도체특정연구.M-S곡선비선성의합결과현시,온도승고외층P형반도체둔화막다수재류자농도명현증고,이내층n형반도체둔화막적다수재류자농도기본미변.통과비선성의합,증명본문소급출적M-S곡선비선성의합방법능구동시급출둔화막내외층다개반도체성질삼수,위게시둔화막형성급파배궤제제공경다신식.결합X사선광전자능보(XPS)분석,토론료둔화막결구변화궤제급np결재억제부식과정중적작용.
