电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2004年
9期
72-77
,共6页
共享型式的进/出接口%电讯化分析%晶圆盒打开及乘载之设备标准
共享型式的進/齣接口%電訊化分析%晶圓盒打開及乘載之設備標準
공향형식적진/출접구%전신화분석%정원합타개급승재지설비표준
从φ150 mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因.Robot被分为Liner与Scara两种,Scara Type在φ200 mm及之后晶圆制造中运用较多.采购Robot通常有两种情况,一为只单纯买一个Robot,不需要配合其它外围做运用.二为需要搭配外围做整合/集成,此种方式在半导体业较为普及,但是也较为复杂.现以布鲁克斯(Brooks)在设备自动化整合方面的经验,与国内业界友人一同探讨选购Robot的诀窍及注意事项.
從φ150 mm開始Robot(機械手臂)就被廣汎運用,除瞭有效地降低微塵顆粒的大小、允許以程序化來決定晶圓取放的路徑等優點外,自動化作業的迫切需求,更是其主要原因.Robot被分為Liner與Scara兩種,Scara Type在φ200 mm及之後晶圓製造中運用較多.採購Robot通常有兩種情況,一為隻單純買一箇Robot,不需要配閤其它外圍做運用.二為需要搭配外圍做整閤/集成,此種方式在半導體業較為普及,但是也較為複雜.現以佈魯剋斯(Brooks)在設備自動化整閤方麵的經驗,與國內業界友人一同探討選購Robot的訣纖及註意事項.
종φ150 mm개시Robot(궤계수비)취피엄범운용,제료유효지강저미진과립적대소、윤허이정서화래결정정원취방적로경등우점외,자동화작업적박절수구,경시기주요원인.Robot피분위Liner여Scara량충,Scara Type재φ200 mm급지후정원제조중운용교다.채구Robot통상유량충정황,일위지단순매일개Robot,불수요배합기타외위주운용.이위수요탑배외위주정합/집성,차충방식재반도체업교위보급,단시야교위복잡.현이포로극사(Brooks)재설비자동화정합방면적경험,여국내업계우인일동탐토선구Robot적결규급주의사항.
