电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2004年
12期
47-50
,共4页
邢建平%蔡成森%滕丽丽%袁庆华%裘南畹
邢建平%蔡成森%滕麗麗%袁慶華%裘南畹
형건평%채성삼%등려려%원경화%구남원
电子技术%粉末溅射%薄膜%气敏元件%测试特性
電子技術%粉末濺射%薄膜%氣敏元件%測試特性
전자기술%분말천사%박막%기민원건%측시특성
利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间τs<10 s,恢复时间τc<15 s.并对影响灵敏度测试的条件,例如测试电压、湿度影响、反应温变等进行了分析.
利用粉末濺射,研究瞭SnO2/CeO2微型平麵薄膜.結果錶明:薄膜最佳摻雜範圍(5%-20%)、最佳靈敏度膜厚(150 nm)、響應時間與恢複時間隨膜厚變化遵循次方定律;製備齣穩定性好的氣敏元件,靈敏度S為20-80,對航空汽油氣選擇性Sl為8-20,響應時間τs<10 s,恢複時間τc<15 s.併對影響靈敏度測試的條件,例如測試電壓、濕度影響、反應溫變等進行瞭分析.
이용분말천사,연구료SnO2/CeO2미형평면박막.결과표명:박막최가참잡범위(5%-20%)、최가령민도막후(150 nm)、향응시간여회복시간수막후변화준순차방정률;제비출은정성호적기민원건,령민도S위20-80,대항공기유기선택성Sl위8-20,향응시간τs<10 s,회복시간τc<15 s.병대영향령민도측시적조건,례여측시전압、습도영향、반응온변등진행료분석.
