陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2006年
4期
363-369
,共7页
于长凤%朱小平%张脉官%凌青%戴静
于長鳳%硃小平%張脈官%凌青%戴靜
우장봉%주소평%장맥관%릉청%대정
掺杂Sb%SnO2薄膜%透明导电膜%导电性
摻雜Sb%SnO2薄膜%透明導電膜%導電性
참잡Sb%SnO2박막%투명도전막%도전성
采用溶胶凝胶法制备透明导电膜,并考察了Sb的掺杂量、热处理温度对薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响.在SnO2掺杂1.0%(wt)Sb能显著提高薄膜的电导性,制得的透明导电膜表面电阻率最低为ρ=16×10-3Ω·cm,且薄膜的连续性、致密性好,透光率达到90%以上.
採用溶膠凝膠法製備透明導電膜,併攷察瞭Sb的摻雜量、熱處理溫度對薄膜方塊電阻以及對薄膜透光率的影響.在SnO2摻雜1.0%(wt)Sb能顯著提高薄膜的電導性,製得的透明導電膜錶麵電阻率最低為ρ=16×10-3Ω·cm,且薄膜的連續性、緻密性好,透光率達到90%以上.
채용용효응효법제비투명도전막,병고찰료Sb적참잡량、열처리온도대박막방괴전조이급대박막투광솔적영향.재SnO2참잡1.0%(wt)Sb능현저제고박막적전도성,제득적투명도전막표면전조솔최저위ρ=16×10-3Ω·cm,차박막적련속성、치밀성호,투광솔체도90%이상.
