发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
6期
933-938
,共6页
赵俊亮%李效民%古彦飞%于伟东%杨长
趙俊亮%李效民%古彥飛%于偉東%楊長
조준량%리효민%고언비%우위동%양장
ZnO薄膜%籽晶层%喷雾热分解法%结晶质量%光电性能
ZnO薄膜%籽晶層%噴霧熱分解法%結晶質量%光電性能
ZnO박막%자정층%분무열분해법%결정질량%광전성능
通过脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上沉积一层高质量的ZnO籽晶层,在籽晶层上进一步采用超声喷雾热分解(USP)法生长ZnO薄膜,研究了籽晶层对ZnO薄膜结晶质量和ZnO/Si异质结光电特性的影响.研究结果表明,在籽晶层的诱导作用下, USP法生长ZnO薄膜由多取向结构变为(002)单一取向,结晶性能得到了显著改善;籽晶层上生长的薄膜呈现出垂直于衬底生长的柱状晶结构,微观结构更加致密.通过研究紫外光照前后ZnO/Si异质结的整流特性,发现引入籽晶层后,反向偏压下异质结的光电响应显著增加,并且在开路状态下出现明显的光伏效应.
通過脈遲激光沉積(PLD)方法在Si(100)襯底上沉積一層高質量的ZnO籽晶層,在籽晶層上進一步採用超聲噴霧熱分解(USP)法生長ZnO薄膜,研究瞭籽晶層對ZnO薄膜結晶質量和ZnO/Si異質結光電特性的影響.研究結果錶明,在籽晶層的誘導作用下, USP法生長ZnO薄膜由多取嚮結構變為(002)單一取嚮,結晶性能得到瞭顯著改善;籽晶層上生長的薄膜呈現齣垂直于襯底生長的柱狀晶結構,微觀結構更加緻密.通過研究紫外光照前後ZnO/Si異質結的整流特性,髮現引入籽晶層後,反嚮偏壓下異質結的光電響應顯著增加,併且在開路狀態下齣現明顯的光伏效應.
통과맥충격광침적(PLD)방법재Si(100)츤저상침적일층고질량적ZnO자정층,재자정층상진일보채용초성분무열분해(USP)법생장ZnO박막,연구료자정층대ZnO박막결정질량화ZnO/Si이질결광전특성적영향.연구결과표명,재자정층적유도작용하, USP법생장ZnO박막유다취향결구변위(002)단일취향,결정성능득도료현저개선;자정층상생장적박막정현출수직우츤저생장적주상정결구,미관결구경가치밀.통과연구자외광조전후ZnO/Si이질결적정류특성,발현인입자정층후,반향편압하이질결적광전향응현저증가,병차재개로상태하출현명현적광복효응.
