电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2007年
3期
43-45,63
,共4页
纳米压印%紫外%模板
納米壓印%紫外%模闆
납미압인%자외%모판
基于紫外光固化的紫外纳米压印技术可在常温常压条件下实现纳米结构批量复制,具有高分辨率、高效率和低成本的优点.通过对紫外纳米压印原理和工艺的分析,制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100 nm特征的5 cm×5 cm面积的纳米结构图形.同时,介绍了如何利用传统紫外光刻机的套刻对准系统进行紫外纳米压印和套刻对准的方法.
基于紫外光固化的紫外納米壓印技術可在常溫常壓條件下實現納米結構批量複製,具有高分辨率、高效率和低成本的優點.通過對紫外納米壓印原理和工藝的分析,製備瞭石英玻璃模闆,實現瞭在商用紫外固化聚閤物OG154上的紫外納米壓印,轉移複製瞭具有100 nm特徵的5 cm×5 cm麵積的納米結構圖形.同時,介紹瞭如何利用傳統紫外光刻機的套刻對準繫統進行紫外納米壓印和套刻對準的方法.
기우자외광고화적자외납미압인기술가재상온상압조건하실현납미결구비량복제,구유고분변솔、고효솔화저성본적우점.통과대자외납미압인원리화공예적분석,제비료석영파리모판,실현료재상용자외고화취합물OG154상적자외납미압인,전이복제료구유100 nm특정적5 cm×5 cm면적적납미결구도형.동시,개소료여하이용전통자외광각궤적투각대준계통진행자외납미압인화투각대준적방법.
