等离子体刻蚀工艺中的OES监控技术
등리자체각식공예중적OES감공기술
Application of OES diagnostics on plasma etching
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2008年 2期 326-329 ,共4页

    王巍%兰中文%吴志刚%孙江宏%龚云贵%姬洪%柏杨

    왕외%란중문%오지강%손강굉%공운귀%희홍%백양

    等离子体刻蚀%OES%故障诊断%终点检测 等離子體刻蝕%OES%故障診斷%終點檢測
    등리자체각식%OES%고장진단%종점검측
    采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用.实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl2为刻蚀气体进行多晶硅刻蚀工艺实验,实验过程中所采集的OES数据通过PCA法进行分析,得到与刻蚀过程相关的特征谱线.实验结果表明:OES技术适合于深亚微米等离子体刻蚀工艺过程的终点检测及故障诊断.最后就OES技术未来发展面临的挑战进行了讨论.
    채용광학발사광보(OES)원위검측기술,대등리자체각식궤중적등리자체상태진행실시감공,토론료기재고장진단、분류、각식종점적판단급공제방면적응용.실험평태위재신연발적고밀도등리자체각식궤,채용화학기체HBr/Cl2위각식기체진행다정규각식공예실험,실험과정중소채집적OES수거통과PCA법진행분석,득도여각식과정상관적특정보선.실험결과표명:OES기술괄합우심아미미등리자체각식공예과정적종점검측급고장진단.최후취OES기술미래발전면림적도전진행료토론.
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