电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2011年
1期
23-27
,共5页
安成明%殷国强%李剑中%余祖元
安成明%慇國彊%李劍中%餘祖元
안성명%은국강%리검중%여조원
微细超声加工%微细阵列孔%微细三维型腔
微細超聲加工%微細陣列孔%微細三維型腔
미세초성가공%미세진렬공%미세삼유형강
利用自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置,对微孔超声加工中效率随孔深的变化、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行了实验研究,并采用恒加工力控制方式,在单晶硅100晶面实际完成了直径18μm圆孔和28μm×28μm方孔的超声加工、微细十字孔与阵列孔的超声反拷加工以及微细三维型腔的工具均匀损耗补偿分层铣削超声加工.
利用自行開髮的微細電火花與微細超聲複閤加工裝置,對微孔超聲加工中效率隨孔深的變化、磨料顆粒呎吋對精度的影響等進行瞭實驗研究,併採用恆加工力控製方式,在單晶硅100晶麵實際完成瞭直徑18μm圓孔和28μm×28μm方孔的超聲加工、微細十字孔與陣列孔的超聲反拷加工以及微細三維型腔的工具均勻損耗補償分層鐉削超聲加工.
이용자행개발적미세전화화여미세초성복합가공장치,대미공초성가공중효솔수공심적변화、마료과립척촌대정도적영향등진행료실험연구,병채용항가공력공제방식,재단정규100정면실제완성료직경18μm원공화28μm×28μm방공적초성가공、미세십자공여진렬공적초성반고가공이급미세삼유형강적공구균균손모보상분층선삭초성가공.
