厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2012年
1期
51-54
,共4页
机械灵敏度%悬空薄膜%浓硼扩散%自停止腐蚀
機械靈敏度%懸空薄膜%濃硼擴散%自停止腐蝕
궤계령민도%현공박막%농붕확산%자정지부식
微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一.研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制备高灵敏度悬空导电薄膜.实验结果表明,当扩散温度为1 175℃,扩散时间为3h,去除硼硅玻璃后四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液中腐蚀7.5h,可得到厚度为3μm,边长为5 mm,方块电阻为1.12 Ω/sq,致密均匀的悬空导电薄膜.给出了详细的制备工艺；针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,给出了切实可行的解决办法.
微機電繫統中的懸空薄膜的製備技術是微結構製備的關鍵技術之一.研究瞭週邊固支方形薄膜的機械靈敏度及通過濃硼擴散自停止腐蝕法製備高靈敏度懸空導電薄膜.實驗結果錶明,噹擴散溫度為1 175℃,擴散時間為3h,去除硼硅玻璃後四甲基氫氧化銨(TMAH)腐蝕液中腐蝕7.5h,可得到厚度為3μm,邊長為5 mm,方塊電阻為1.12 Ω/sq,緻密均勻的懸空導電薄膜.給齣瞭詳細的製備工藝；針對擴散過程中齣現的硼硅玻璃等問題,給齣瞭切實可行的解決辦法.
미궤전계통중적현공박막적제비기술시미결구제비적관건기술지일.연구료주변고지방형박막적궤계령민도급통과농붕확산자정지부식법제비고령민도현공도전박막.실험결과표명,당확산온도위1 175℃,확산시간위3h,거제붕규파리후사갑기경양화안(TMAH)부식액중부식7.5h,가득도후도위3μm,변장위5 mm,방괴전조위1.12 Ω/sq,치밀균균적현공도전박막.급출료상세적제비공예；침대확산과정중출현적붕규파리등문제,급출료절실가행적해결판법.
