微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
5期
52-55
,共4页
RF MEMS开关%抗连续波烧毁功率
RF MEMS開關%抗連續波燒燬功率
RF MEMS개관%항련속파소훼공솔
MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功率烧毁机理进行了进一步的讨论.
MEMS開關的功率能力是MEMS開關使用中必鬚攷慮的一箇指標,本文測試瞭我所研製的RF MEMS開關的抗連續波燒燬功率性能,其抗連續波燒燬功率達到35.1dBm.解剖分析瞭燒燬樣品,對功率燒燬機理進行瞭進一步的討論.
MEMS개관적공솔능력시MEMS개관사용중필수고필적일개지표,본문측시료아소연제적RF MEMS개관적항련속파소훼공솔성능,기항련속파소훼공솔체도35.1dBm.해부분석료소훼양품,대공솔소훼궤리진행료진일보적토론.