电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2006年
5期
55-57
,共3页
段珂瑜%秦文峰%陶伯万%李言荣
段珂瑜%秦文峰%陶伯萬%李言榮
단가유%진문봉%도백만%리언영
无机非金属材料%La0.5Sr0.5CoO3%脉冲激光沉积法%外延生长%BST
無機非金屬材料%La0.5Sr0.5CoO3%脈遲激光沉積法%外延生長%BST
무궤비금속재료%La0.5Sr0.5CoO3%맥충격광침적법%외연생장%BST
利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/ BST/ LSCO多层膜结构.XRD谱发现,沉积温度在450～700℃均能得到高度(00 l)取向的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰宽FWHM =0.1°～0.2°;在LSCO薄膜上制备的BST介质膜具有良好的c轴取向和较高的表面平整度,其εr约为470,tgδ为0.036～0.060.
利用脈遲激光沉積法在STO(001)基片上外延生長瞭La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)導電氧化物薄膜,研究瞭基片溫度對LSCO薄膜結構和電性能的影響,併製備瞭Ni-Cr/ BST/ LSCO多層膜結構.XRD譜髮現,沉積溫度在450～700℃均能得到高度(00 l)取嚮的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰寬FWHM =0.1°～0.2°;在LSCO薄膜上製備的BST介質膜具有良好的c軸取嚮和較高的錶麵平整度,其εr約為470,tgδ為0.036～0.060.
이용맥충격광침적법재STO(001)기편상외연생장료La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)도전양화물박막,연구료기편온도대LSCO박막결구화전성능적영향,병제비료Ni-Cr/ BST/ LSCO다층막결구.XRD보발현,침적온도재450～700℃균능득도고도(00 l)취향적LSCO박막,LSCO(002)봉적반고봉관FWHM =0.1°～0.2°;재LSCO박막상제비적BST개질막구유량호적c축취향화교고적표면평정도,기εr약위470,tgδ위0.036～0.060.
