宇航计测技术
宇航計測技術
우항계측기술
JOURNAL OF ASTRONAUTIC METROLOGY AND MEASUREMENT
2008年
2期
50-53
,共4页
晏敏%徐仁伯%章兢%侯志春%何敏
晏敏%徐仁伯%章兢%侯誌春%何敏
안민%서인백%장긍%후지춘%하민
+双电测组合法%半导体材料%电阻%电阻率%测量仪表
+雙電測組閤法%半導體材料%電阻%電阻率%測量儀錶
+쌍전측조합법%반도체재료%전조%전조솔%측량의표
采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准确度和智能化水平.实际运行结果表明:与传统直流四探针测试法相比,该双电测试法测量结果与探针间距无关,能自动修正边界误差和量程的转换,还可以测量材料的匀均性,较好地满足了生产与教学需要.
採用雙電測組閤法設計瞭一款用于測試半導體材料方塊電阻和體電阻率的測試儀,它是以凌暘單片機SPCE061A為控製覈心,通過冗餘通道法、PID算法和平均濾波法,提高瞭繫統的測量準確度和智能化水平.實際運行結果錶明:與傳統直流四探針測試法相比,該雙電測試法測量結果與探針間距無關,能自動脩正邊界誤差和量程的轉換,還可以測量材料的勻均性,較好地滿足瞭生產與教學需要.
채용쌍전측조합법설계료일관용우측시반도체재료방괴전조화체전조솔적측시의,타시이릉양단편궤SPCE061A위공제핵심,통과용여통도법、PID산법화평균려파법,제고료계통적측량준학도화지능화수평.실제운행결과표명:여전통직류사탐침측시법상비,해쌍전측시법측량결과여탐침간거무관,능자동수정변계오차화량정적전환,환가이측량재료적균균성,교호지만족료생산여교학수요.
