微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
1期
34-40
,共7页
曾雪%徐溢%曹强%郝敦玲%吴永杰
曾雪%徐溢%曹彊%郝敦玲%吳永傑
증설%서일%조강%학돈령%오영걸
介电电泳%微流控芯片%电场模拟%微电极设计%芯片结构优化
介電電泳%微流控芯片%電場模擬%微電極設計%芯片結構優化
개전전영%미류공심편%전장모의%미전겁설계%심편결구우화
综述了国内外微流控芯片介电电泳(DEP)的研究进展和介电电泳芯片的主要结构设计方案.依据芯片电极结构设计的不同,将介电电泳芯片分为阵列电极DEP芯片、抛物线电极DEP芯片、绝缘微柱DEP芯片及其他设计DEP芯片四大类.分别对芯片电极结构设计所采用的模拟分析进行了归纳和综述,重点探讨了如何通过电场模拟分析手段对芯片结构参数进行优化,分析了流体分布与热效应对芯片效能的影响,列举了不同电极结构设计的DEP芯片的工作效率及实际应用效果.提出了目前采用模拟分析方法进行芯片结构设计存在的问题,进而对基于MEMS技术的DEP芯片的设计和应用前景进行了展望.
綜述瞭國內外微流控芯片介電電泳(DEP)的研究進展和介電電泳芯片的主要結構設計方案.依據芯片電極結構設計的不同,將介電電泳芯片分為陣列電極DEP芯片、拋物線電極DEP芯片、絕緣微柱DEP芯片及其他設計DEP芯片四大類.分彆對芯片電極結構設計所採用的模擬分析進行瞭歸納和綜述,重點探討瞭如何通過電場模擬分析手段對芯片結構參數進行優化,分析瞭流體分佈與熱效應對芯片效能的影響,列舉瞭不同電極結構設計的DEP芯片的工作效率及實際應用效果.提齣瞭目前採用模擬分析方法進行芯片結構設計存在的問題,進而對基于MEMS技術的DEP芯片的設計和應用前景進行瞭展望.
종술료국내외미류공심편개전전영(DEP)적연구진전화개전전영심편적주요결구설계방안.의거심편전겁결구설계적불동,장개전전영심편분위진렬전겁DEP심편、포물선전겁DEP심편、절연미주DEP심편급기타설계DEP심편사대류.분별대심편전겁결구설계소채용적모의분석진행료귀납화종술,중점탐토료여하통과전장모의분석수단대심편결구삼수진행우화,분석료류체분포여열효응대심편효능적영향,열거료불동전겁결구설계적DEP심편적공작효솔급실제응용효과.제출료목전채용모의분석방법진행심편결구설계존재적문제,진이대기우MEMS기술적DEP심편적설계화응용전경진행료전망.
