电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2010年
10期
35-37,43
,共4页
赵金茹%王春栋%秦永伟%李俊
趙金茹%王春棟%秦永偉%李俊
조금여%왕춘동%진영위%리준
SPC%控制图%腐蚀工序
SPC%控製圖%腐蝕工序
SPC%공제도%부식공서
文章介绍了统计过程控制(SPC)的基本概念和基本原理,以及在微电路生产中腐蚀工序的应用.详细介绍潜在工序能力指数和实际工序能力指数的区别以及双侧规格下的常规计算方法,给出实际生产中工序能力指数的判断准则.研究SPC在腐蚀工序中在线设备运转状态和产品的关键工艺参数的监控内容及方式.讨论SPC实施过程中控制图的建立过程、参数数据的采集、控制图的选用、常用的判异准则以及如何进行工序能力评价.结合实例,论证腐蚀工艺控制过程中出现失控点时的分析思路和处理方法.
文章介紹瞭統計過程控製(SPC)的基本概唸和基本原理,以及在微電路生產中腐蝕工序的應用.詳細介紹潛在工序能力指數和實際工序能力指數的區彆以及雙側規格下的常規計算方法,給齣實際生產中工序能力指數的判斷準則.研究SPC在腐蝕工序中在線設備運轉狀態和產品的關鍵工藝參數的鑑控內容及方式.討論SPC實施過程中控製圖的建立過程、參數數據的採集、控製圖的選用、常用的判異準則以及如何進行工序能力評價.結閤實例,論證腐蝕工藝控製過程中齣現失控點時的分析思路和處理方法.
문장개소료통계과정공제(SPC)적기본개념화기본원리,이급재미전로생산중부식공서적응용.상세개소잠재공서능력지수화실제공서능력지수적구별이급쌍측규격하적상규계산방법,급출실제생산중공서능력지수적판단준칙.연구SPC재부식공서중재선설비운전상태화산품적관건공예삼수적감공내용급방식.토론SPC실시과정중공제도적건립과정、삼수수거적채집、공제도적선용、상용적판이준칙이급여하진행공서능력평개.결합실례,론증부식공예공제과정중출현실공점시적분석사로화처리방법.
