光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2003年
1期
101-104
,共4页
金永浩%姚李英%汤兆胜%邵建达%范正修
金永浩%姚李英%湯兆勝%邵建達%範正脩
금영호%요리영%탕조성%소건체%범정수
薄膜物理学%光谱选择%光学常数%TVIS/TNIR
薄膜物理學%光譜選擇%光學常數%TVIS/TNIR
박막물이학%광보선택%광학상수%TVIS/TNIR
利用磁控溅射法,在不同的工艺条件下制备氮化钛薄膜.详细分析了不同工艺条件下薄膜的光谱选择特性以及相应的光学常数,通过俄歇电子能谱对薄膜的不同深度的元素成分进行了分析,由原子力显微镜测量并处理得到氮化钛薄膜的表面形貌图.结果表明,氮化钛薄膜的光学性能严格依赖于氮和钛原子数比,符合化学计量比的TiN薄膜具有良好的光谱选择性.基底加负偏压溅射可进一步改善薄膜的性能.
利用磁控濺射法,在不同的工藝條件下製備氮化鈦薄膜.詳細分析瞭不同工藝條件下薄膜的光譜選擇特性以及相應的光學常數,通過俄歇電子能譜對薄膜的不同深度的元素成分進行瞭分析,由原子力顯微鏡測量併處理得到氮化鈦薄膜的錶麵形貌圖.結果錶明,氮化鈦薄膜的光學性能嚴格依賴于氮和鈦原子數比,符閤化學計量比的TiN薄膜具有良好的光譜選擇性.基底加負偏壓濺射可進一步改善薄膜的性能.
이용자공천사법,재불동적공예조건하제비담화태박막.상세분석료불동공예조건하박막적광보선택특성이급상응적광학상수,통과아헐전자능보대박막적불동심도적원소성분진행료분석,유원자력현미경측량병처리득도담화태박막적표면형모도.결과표명,담화태박막적광학성능엄격의뢰우담화태원자수비,부합화학계량비적TiN박막구유량호적광보선택성.기저가부편압천사가진일보개선박막적성능.
