半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
7期
1359-1363
,共5页
马通达%屠海令%胡广勇%邵贝羚%刘安生
馬通達%屠海令%鬍廣勇%邵貝羚%劉安生
마통체%도해령%호엄용%소패령%류안생
同步辐射双晶貌相术%高分辨三轴晶X射线衍射%衍射双峰
同步輻射雙晶貌相術%高分辨三軸晶X射線衍射%衍射雙峰
동보복사쌍정모상술%고분변삼축정X사선연사%연사쌍봉
运用同步辐射双晶貌相术结合高分辨三轴晶X射线衍射对经原位低温热处理的Si/SiGe/Si-SOI异质结构进行研究,发现Si层(004)衍射峰两侧半高宽(FWHMs)处同步辐射双晶形貌像特征存在明显差异.对同步辐射双晶摇摆曲线中Si层(004)衍射峰的不对称性给予了解释,同时阐明了高分辨三轴晶X射线衍射2θ-ω扫描曲线中Si层(004)衍射双峰与Si层衍射结构的对应关系.
運用同步輻射雙晶貌相術結閤高分辨三軸晶X射線衍射對經原位低溫熱處理的Si/SiGe/Si-SOI異質結構進行研究,髮現Si層(004)衍射峰兩側半高寬(FWHMs)處同步輻射雙晶形貌像特徵存在明顯差異.對同步輻射雙晶搖襬麯線中Si層(004)衍射峰的不對稱性給予瞭解釋,同時闡明瞭高分辨三軸晶X射線衍射2θ-ω掃描麯線中Si層(004)衍射雙峰與Si層衍射結構的對應關繫.
운용동보복사쌍정모상술결합고분변삼축정X사선연사대경원위저온열처리적Si/SiGe/Si-SOI이질결구진행연구,발현Si층(004)연사봉량측반고관(FWHMs)처동보복사쌍정형모상특정존재명현차이.대동보복사쌍정요파곡선중Si층(004)연사봉적불대칭성급여료해석,동시천명료고분변삼축정X사선연사2θ-ω소묘곡선중Si층(004)연사쌍봉여Si층연사결구적대응관계.
