鲁东大学学报（自然科学版）
魯東大學學報（自然科學版）
로동대학학보（자연과학판）
LUDONG UNIVERSITY JOURNAL(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
3期
197-200,204
,共5页
高善民%周升旺%张江%于忠玺
高善民%週升旺%張江%于忠璽
고선민%주승왕%장강%우충새
透明导电薄膜%ZnO:Al%溶胶-凝胶%光电性能
透明導電薄膜%ZnO:Al%溶膠-凝膠%光電性能
투명도전박막%ZnO:Al%용효-응효%광전성능
运用溶胶-凝胶技术,在普通玻璃基片上制备Al3+掺杂的ZnO透明导电薄膜.采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行了表征,通过紫外-可见吸收光谱和标准四探针法对其光电性能进行了研究.结果表明,采用溶胶-凝胶法制得的ZAO薄膜为纤锌矿型结构,呈C轴方向择优生长;在适宜的条件下,薄膜的可见光透过率达到80%以上;电阻率为3.1×10-3Ω·cm;涂层厚度、预处理温度和热处理温度对薄膜结构和光电性能有较大影响.
運用溶膠-凝膠技術,在普通玻璃基片上製備Al3+摻雜的ZnO透明導電薄膜.採用X-射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)對薄膜的結構和形貌進行瞭錶徵,通過紫外-可見吸收光譜和標準四探針法對其光電性能進行瞭研究.結果錶明,採用溶膠-凝膠法製得的ZAO薄膜為纖鋅礦型結構,呈C軸方嚮擇優生長;在適宜的條件下,薄膜的可見光透過率達到80%以上;電阻率為3.1×10-3Ω·cm;塗層厚度、預處理溫度和熱處理溫度對薄膜結構和光電性能有較大影響.
운용용효-응효기술,재보통파리기편상제비Al3+참잡적ZnO투명도전박막.채용X-사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)대박막적결구화형모진행료표정,통과자외-가견흡수광보화표준사탐침법대기광전성능진행료연구.결과표명,채용용효-응효법제득적ZAO박막위섬자광형결구,정C축방향택우생장;재괄의적조건하,박막적가견광투과솔체도80%이상;전조솔위3.1×10-3Ω·cm;도층후도、예처리온도화열처리온도대박막결구화광전성능유교대영향.
