低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2007年
3期
231-233,241
,共4页
昌路%康琳%刘希%赵少奇%吴培亨
昌路%康琳%劉希%趙少奇%吳培亨
창로%강림%류희%조소기%오배형
透射电子显微镜%薄膜%电子衍射图案%SIS结
透射電子顯微鏡%薄膜%電子衍射圖案%SIS結
투사전자현미경%박막%전자연사도안%SIS결
对生长在Si和MgO单晶基片上的不同厚度的单层NbN薄膜、双层薄膜AlN/NbN以及三层薄膜NbN/AlN/NbN应用透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)技术进行了分析研究,对这儿种薄膜样品的微观结构、薄膜厚度以及各个边界的一些直观细节给出了较为清晰的图像.由透射电子显微镜的电子衍射图案计算了薄膜和单晶衬底的晶格常数,并与我们以前采用X射线衍射技术分析的结果进行了比较,结果有很好的吻合.
對生長在Si和MgO單晶基片上的不同厚度的單層NbN薄膜、雙層薄膜AlN/NbN以及三層薄膜NbN/AlN/NbN應用透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)技術進行瞭分析研究,對這兒種薄膜樣品的微觀結構、薄膜厚度以及各箇邊界的一些直觀細節給齣瞭較為清晰的圖像.由透射電子顯微鏡的電子衍射圖案計算瞭薄膜和單晶襯底的晶格常數,併與我們以前採用X射線衍射技術分析的結果進行瞭比較,結果有很好的吻閤.
대생장재Si화MgO단정기편상적불동후도적단층NbN박막、쌍층박막AlN/NbN이급삼층박막NbN/AlN/NbN응용투사전자현미경(Transmission Electron Microscope,TEM)기술진행료분석연구,대저인충박막양품적미관결구、박막후도이급각개변계적일사직관세절급출료교위청석적도상.유투사전자현미경적전자연사도안계산료박막화단정츤저적정격상수,병여아문이전채용X사선연사기술분석적결과진행료비교,결과유흔호적문합.
