仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2008年
5期
1109-1114
,共6页
衍射光栅%微机电系统%微光机电系统%微型可编程光栅
衍射光柵%微機電繫統%微光機電繫統%微型可編程光柵
연사광책%미궤전계통%미광궤전계통%미형가편정광책
近10几年来,微机电系统--MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益.光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的.本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用.
近10幾年來,微機電繫統--MEMS技術作為一種使能技術,在各箇領域(如機械、生物、光學、射頻、能源等)得到瞭迅速髮展,併實現瞭一定的產業化應用,取得瞭良好的經濟效益.光學MEMS使光學元器件具備瞭體積小、重量輕、性能穩定、成本及功耗低等顯著優點,實現瞭器件中關鍵結構的動態可控性,這是傳統技術所無法比擬的.本文以MEMS微型可編程光柵為覈心,介紹瞭它的特點及其優異性能,併重點闡述瞭國外已經實現商品化應用的3種MEMS微型可編程光柵的工作原理、結構特點及其典型應用.
근10궤년래,미궤전계통--MEMS기술작위일충사능기술,재각개영역(여궤계、생물、광학、사빈、능원등)득도료신속발전,병실현료일정적산업화응용,취득료량호적경제효익.광학MEMS사광학원기건구비료체적소、중량경、성능은정、성본급공모저등현저우점,실현료기건중관건결구적동태가공성,저시전통기술소무법비의적.본문이MEMS미형가편정광책위핵심,개소료타적특점급기우이성능,병중점천술료국외이경실현상품화응용적3충MEMS미형가편정광책적공작원리、결구특점급기전형응용.
