化工新型材料
化工新型材料
화공신형재료
NEW CHEMICAL MATERIALS
2008年
4期
58-60
,共3页
范云华%肖田%林明通%陈国荣%杨云霞
範雲華%肖田%林明通%陳國榮%楊雲霞
범운화%초전%림명통%진국영%양운하
BaAl2S4%Eu薄膜%射频磁控溅射%沉积速率%化学计量%EL特性
BaAl2S4%Eu薄膜%射頻磁控濺射%沉積速率%化學計量%EL特性
BaAl2S4%Eu박막%사빈자공천사%침적속솔%화학계량%EL특성
BaAl2S4:Eu发光薄膜是最有希望实现彩色无机电致发光显示器的蓝色电致发光材料.用射频磁控溅射法制备了厚度在150～375nm之间的BaAl2S4:Eu薄膜,研究了溅射功率、Ar/H2S流量比和气压对其沉积速率和化学组成的影响,考察了不同退火条件下BaAl2S4:Eu薄膜的电致发光特性.并根据这些结果分析了较优的工艺条件.
BaAl2S4:Eu髮光薄膜是最有希望實現綵色無機電緻髮光顯示器的藍色電緻髮光材料.用射頻磁控濺射法製備瞭厚度在150～375nm之間的BaAl2S4:Eu薄膜,研究瞭濺射功率、Ar/H2S流量比和氣壓對其沉積速率和化學組成的影響,攷察瞭不同退火條件下BaAl2S4:Eu薄膜的電緻髮光特性.併根據這些結果分析瞭較優的工藝條件.
BaAl2S4:Eu발광박막시최유희망실현채색무궤전치발광현시기적람색전치발광재료.용사빈자공천사법제비료후도재150～375nm지간적BaAl2S4:Eu박막,연구료천사공솔、Ar/H2S류량비화기압대기침적속솔화화학조성적영향,고찰료불동퇴화조건하BaAl2S4:Eu박막적전치발광특성.병근거저사결과분석료교우적공예조건.
