光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
9期
1577-1581
,共5页
胡自强%凌宁%潘君骅%饶长辉%姜文汉
鬍自彊%凌寧%潘君驊%饒長輝%薑文漢
호자강%릉저%반군화%요장휘%강문한
非球面镜%非球面能动抛光磨盘%定位误差分析%PZT驱动器
非毬麵鏡%非毬麵能動拋光磨盤%定位誤差分析%PZT驅動器
비구면경%비구면능동포광마반%정위오차분석%PZT구동기
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350mm、K=-1.112 155、顶点半径为840mm的双曲面镜.为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差△δ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%.因此,定位误差应该控制在土0.5mm以内.
研製瞭一箇口徑為100 mm、含19箇PZT驅動器的非毬麵能動拋光磨盤,用于加工口徑為350mm、K=-1.112 155、頂點半徑為840mm的雙麯麵鏡.為研究定位誤差對非毬麵能動拋光磨盤輸齣麵形精度的影響,對磨盤上任意點所需變形量δ以及由定位誤差引入的變形量誤差△δ進行瞭理論公式推導,併利用有限元分析方法計算得到瞭噹非毬麵能動拋光磨盤中心到非毬麵工件中心的距離L為120mm且δL分彆為0,-1.0,-0.5,0.5,1mm時,非毬麵能動拋光磨盤輸齣麵形與理論麵形比較剩餘殘差RMS相應分彆為0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位誤差導緻剩餘殘差RMS分彆相應增加0,38%,10.9%,11.2%,40%.因此,定位誤差應該控製在土0.5mm以內.
연제료일개구경위100 mm、함19개PZT구동기적비구면능동포광마반,용우가공구경위350mm、K=-1.112 155、정점반경위840mm적쌍곡면경.위연구정위오차대비구면능동포광마반수출면형정도적영향,대마반상임의점소수변형량δ이급유정위오차인입적변형량오차△δ진행료이론공식추도,병이용유한원분석방법계산득도료당비구면능동포광마반중심도비구면공건중심적거리L위120mm차δL분별위0,-1.0,-0.5,0.5,1mm시,비구면능동포광마반수출면형여이론면형비교잉여잔차RMS상응분별위0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,정위오차도치잉여잔차RMS분별상응증가0,38%,10.9%,11.2%,40%.인차,정위오차응해공제재토0.5mm이내.
