光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2008年
11期
2222-2226
,共5页
信息光学%矢量衍射%超分辨%光瞳滤波器%双重曝光
信息光學%矢量衍射%超分辨%光瞳濾波器%雙重曝光
신식광학%시량연사%초분변%광동려파기%쌍중폭광
基于严格的光学成像矢量衍射理论,以4倍缩小倍率的成像系统和x线偏振光照明为例,得到经光瞳滤波器调制的大数值孔径光学系统焦区横向场表达式.通过详细研究非对称三区复振幅型光瞳滤波器的内外环归一化半径、各环相位分布和第一层透过率t对y方向分辨率增益比Gty,斯特尔比Sy和第一旁瓣与主瓣相对强度Iry的影响.设计了一种非对称三区相位型光瞳滤波器,实现Gty=0.8345,Sy=0.4087,Iry=0.4923,使得y方向分辨率比没有加光瞳滤波器时提高了将近20%.
基于嚴格的光學成像矢量衍射理論,以4倍縮小倍率的成像繫統和x線偏振光照明為例,得到經光瞳濾波器調製的大數值孔徑光學繫統焦區橫嚮場錶達式.通過詳細研究非對稱三區複振幅型光瞳濾波器的內外環歸一化半徑、各環相位分佈和第一層透過率t對y方嚮分辨率增益比Gty,斯特爾比Sy和第一徬瓣與主瓣相對彊度Iry的影響.設計瞭一種非對稱三區相位型光瞳濾波器,實現Gty=0.8345,Sy=0.4087,Iry=0.4923,使得y方嚮分辨率比沒有加光瞳濾波器時提高瞭將近20%.
기우엄격적광학성상시량연사이론,이4배축소배솔적성상계통화x선편진광조명위례,득도경광동려파기조제적대수치공경광학계통초구횡향장표체식.통과상세연구비대칭삼구복진폭형광동려파기적내외배귀일화반경、각배상위분포화제일층투과솔t대y방향분변솔증익비Gty,사특이비Sy화제일방판여주판상대강도Iry적영향.설계료일충비대칭삼구상위형광동려파기,실현Gty=0.8345,Sy=0.4087,Iry=0.4923,사득y방향분변솔비몰유가광동려파기시제고료장근20%.
