强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
10期
1724-1726
,共3页
ZrO2薄膜%相变模型%缺陷%X射线衍射%损伤阈值
ZrO2薄膜%相變模型%缺陷%X射線衍射%損傷閾值
ZrO2박막%상변모형%결함%X사선연사%손상역치
用电子束蒸发方法制备了纯的ZrO2薄膜和含Y2O3摩尔分数为7%和13%的ZrO2薄膜,即YSZ薄膜,通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型;并用X射线衍射(XRD)来测定ZrO2和YSZ镀膜材料和薄膜的结构特征.结果表明: ZrO2镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相,YSZ镀膜材料和薄膜室温下都以立方相存在;YSZ薄膜的损伤阈值远高于ZrO2薄膜的损伤阈值,这是因为添加Y2O3后的YSZ材料的相比较稳定,在蒸发过程中不会发生相变,而ZrO2材料则发生相变,产生缺陷,缺陷在激光作用下成为吸收中心和初始破坏点,导致ZrO2薄膜的损伤阈值降低.
用電子束蒸髮方法製備瞭純的ZrO2薄膜和含Y2O3摩爾分數為7%和13%的ZrO2薄膜,即YSZ薄膜,通過測定薄膜的損傷閾值來驗證溫度誘導相變模型;併用X射線衍射(XRD)來測定ZrO2和YSZ鍍膜材料和薄膜的結構特徵.結果錶明: ZrO2鍍膜材料和薄膜室溫下都錶現為單斜相,YSZ鍍膜材料和薄膜室溫下都以立方相存在;YSZ薄膜的損傷閾值遠高于ZrO2薄膜的損傷閾值,這是因為添加Y2O3後的YSZ材料的相比較穩定,在蒸髮過程中不會髮生相變,而ZrO2材料則髮生相變,產生缺陷,缺陷在激光作用下成為吸收中心和初始破壞點,導緻ZrO2薄膜的損傷閾值降低.
용전자속증발방법제비료순적ZrO2박막화함Y2O3마이분수위7%화13%적ZrO2박막,즉YSZ박막,통과측정박막적손상역치래험증온도유도상변모형;병용X사선연사(XRD)래측정ZrO2화YSZ도막재료화박막적결구특정.결과표명: ZrO2도막재료화박막실온하도표현위단사상,YSZ도막재료화박막실온하도이립방상존재;YSZ박막적손상역치원고우ZrO2박막적손상역치,저시인위첨가Y2O3후적YSZ재료적상비교은정,재증발과정중불회발생상변,이ZrO2재료칙발생상변,산생결함,결함재격광작용하성위흡수중심화초시파배점,도치ZrO2박막적손상역치강저.
