中北大学学报（自然科学版）
中北大學學報（自然科學版）
중북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTH UNIVERSITY OF CHINA(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
6期
624-629
,共6页
李孟委%杜康%刘俊%王勇%石云波
李孟委%杜康%劉俊%王勇%石雲波
리맹위%두강%류준%왕용%석운파
隧穿微陀螺仪%多势垒纳米膜%介观压阻效应%制造工艺%缺陷
隧穿微陀螺儀%多勢壘納米膜%介觀壓阻效應%製造工藝%缺陷
수천미타라의%다세루납미막%개관압조효응%제조공예%결함
将利用多势垒纳米膜介观压阻效应的高灵敏度器件应用在陀螺中,提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.研究并开发了多势垒纳米膜及介观压阻效应微陀螺仪的制造工艺,通过对制造后的结构进行测试,发现了制造过程中的缺陷,包括敏感结构多势垒纳米膜制造缺陷、陀螺检测梁和驱动梁制造缺陷、检测信号电磁干扰缺陷和封装缺陷等.分析论述了形成缺陷的原因,提出了克服这些问题的工艺方法,从而改进了隧穿微机械陀螺仪的制造工艺,有利于提高微陀螺的制造成品率.
將利用多勢壘納米膜介觀壓阻效應的高靈敏度器件應用在陀螺中,提齣瞭介觀壓阻效應微陀螺儀結構,併論述瞭其工作原理.研究併開髮瞭多勢壘納米膜及介觀壓阻效應微陀螺儀的製造工藝,通過對製造後的結構進行測試,髮現瞭製造過程中的缺陷,包括敏感結構多勢壘納米膜製造缺陷、陀螺檢測樑和驅動樑製造缺陷、檢測信號電磁榦擾缺陷和封裝缺陷等.分析論述瞭形成缺陷的原因,提齣瞭剋服這些問題的工藝方法,從而改進瞭隧穿微機械陀螺儀的製造工藝,有利于提高微陀螺的製造成品率.
장이용다세루납미막개관압조효응적고령민도기건응용재타라중,제출료개관압조효응미타라의결구,병논술료기공작원리.연구병개발료다세루납미막급개관압조효응미타라의적제조공예,통과대제조후적결구진행측시,발현료제조과정중적결함,포괄민감결구다세루납미막제조결함、타라검측량화구동량제조결함、검측신호전자간우결함화봉장결함등.분석논술료형성결함적원인,제출료극복저사문제적공예방법,종이개진료수천미궤계타라의적제조공예,유리우제고미타라적제조성품솔.
