电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2010年
4期
328-332
,共5页
陈迪春%蒋百灵%时惠英%付杨洪
陳迪春%蔣百靈%時惠英%付楊洪
진적춘%장백령%시혜영%부양홍
磁控溅射%C/W多层膜%TEM%XPS
磁控濺射%C/W多層膜%TEM%XPS
자공천사%C/W다층막%TEM%XPS
利用非平衡磁控溅射离子镀技术以纯钨靶和纯石墨靶作为溅射源制备了C/W纳米多层膜.采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对薄膜相组成及其微观组织结构进行了分析.结果表明: W含量约为9 at.%的C/W薄膜具有周期厚度约为6.5 nm的多层结构;沉积的W元素不以单质态存在,而是与碳元素反应生成了WC纳米晶;薄膜中的碳为非晶态,碳主要以sp2键类石墨态存在.
利用非平衡磁控濺射離子鍍技術以純鎢靶和純石墨靶作為濺射源製備瞭C/W納米多層膜.採用X射線衍射(XRD)、X射線光電子能譜(XPS)和高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)對薄膜相組成及其微觀組織結構進行瞭分析.結果錶明: W含量約為9 at.%的C/W薄膜具有週期厚度約為6.5 nm的多層結構;沉積的W元素不以單質態存在,而是與碳元素反應生成瞭WC納米晶;薄膜中的碳為非晶態,碳主要以sp2鍵類石墨態存在.
이용비평형자공천사리자도기술이순오파화순석묵파작위천사원제비료C/W납미다층막.채용X사선연사(XRD)、X사선광전자능보(XPS)화고분변투사전자현미경(HRTEM)대박막상조성급기미관조직결구진행료분석.결과표명: W함량약위9 at.%적C/W박막구유주기후도약위6.5 nm적다층결구;침적적W원소불이단질태존재,이시여탄원소반응생성료WC납미정;박막중적탄위비정태,탄주요이sp2건류석묵태존재.
